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渦輪分子泵的工作原理，結構型式及其優(yōu)缺點(diǎn)。
為了利用渦輪分子泵，獲得清潔真空，國外多利用干式機械泵作其前級泵，構成無(wú)油的真空系統。然而，目前國內渦輪分子泵多以油封機械泵為其前級泵，構成了有油真空系統，如果操作不當，很難避免油蒸汽返流，對真空系統的污染。利用有油系統獲得清潔真空，國內外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經(jīng)驗。
應用：當今，現代化的半導體行業(yè)中，越來(lái)越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來(lái)抽真空。此外，在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴散泵系統，以防止油蒸汽的污染。
因此，很近十幾年來(lái)，渦輪分子泵，在國內、外都得到了顯著(zhù)的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒(méi)有大量普及和應用的情況下，有時(shí)還不得不用油封機械泵來(lái)作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。
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在高真空抽氣過(guò)程的起始階段，泵的很大的未經(jīng)烘烤的內表面會(huì )吸附水，然后再在較低的壓力下重新釋放出來(lái)。這種效應在無(wú)閥門(mén)的系統中更為明顯，因為它可能比未暴露在壓力高于150Pa的空氣環(huán)境的有閥門(mén)的系統吸附更多的水蒸氣。系統停機時(shí)，先關(guān)閉高真空閥，如果有液氮冷阱的話(huà)，還要將冷阱加熱。在冷阱達到平衡溫度后，關(guān)掉前級管道閥，再切斷渦輪分子泵電動(dòng)機的電源，使分子泵的轉子減速。
一般來(lái)說(shuō)，泵轉子完全停止需要十分鐘或更長(cháng)的時(shí)間。在分子泵轉子減速期間，來(lái)自前級管道的碳氫化合物和渦輪分子泵的潤滑油蒸氣會(huì )迅速地向泵的進(jìn)氣口上方區域擴散。為了防止機械泵油蒸氣和渦輪分子泵潤滑油蒸氣的返流，在切斷渦輪分子泵電動(dòng)機的電源后，要用一股干燥的反向氣流對分子泵進(jìn)行放氣。
例如，應該在泵轉子速度下降到很大轉速的50%左右時(shí)，在泵進(jìn)氣口上方的某處或在轉子組件上部連續充入氣或氮氣，直到泵內壓力達到大氣壓。通過(guò)從閥門(mén)3（見(jiàn)圖1）充入氣體就可適當地完成這一操作。當渦輪分子泵以額定速度運轉時(shí)，不應經(jīng)常充入壓力為大氣壓的氣流。這樣做對軸的壽命是不利的。當前級管道閥關(guān)閉后，即可關(guān)掉機械泵系統，并用放氣閥對機械泵內進(jìn)行放氣。停機后應立即關(guān)掉冷卻水以防止內部冷凝。在正常工作時(shí)，可把水溫調節到略高于來(lái)消除泵體外部可能形成的冷凝物。
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實(shí)驗與分析氦質(zhì)譜檢漏儀工作在不同的分子泵轉速下，在儀器的檢漏口連接標漏信號，檢測氦質(zhì)譜檢漏儀在不同分子泵轉速下，所獲得的信號值。
實(shí)驗器材：
(1)氦質(zhì)譜檢漏儀SFJ-231,1臺；
(2)滲氦型標準漏孔（3.0×10-10Pa.m3/s),1只；
(3)滲氦型標準漏孔（1.5×10-Pa.m/s),1只；
(4)標準漏孔TL4-6,1只。
實(shí)驗步驟：
(1)開(kāi)啟氦質(zhì)譜檢漏儀；
(2)儀器進(jìn)入檢漏狀態(tài)運行2h后；
(3)儀器按下停止鍵，儀器進(jìn)入待機狀態(tài)(4)進(jìn)入儀器的參數設置，將分子泵的轉速設定為1500Hz；
(5)待儀器進(jìn)入待機狀態(tài)
(6)將滲氦型標準漏孔(3.0×100Pa.mYs)連接在檢漏口；
(7)檢漏儀按開(kāi)始鍵，檢測儀器的顯示值，并記錄；
(8)儀器按下停止鍵后按下開(kāi)始鍵，再次檢測儀器的顯示值，共記錄3次數據(9)儀器在待機狀態(tài)，進(jìn)入儀器的參數設置，將分子泵的轉速設定為1000Hz；
(10)重復7、8步驟；
(11)進(jìn)入儀器的參數設置，將分子泵的轉速設定為1500Hz；
(12)在儀器檢漏口連接滲氦型標準漏孔(1.5X10*Pa.ms)1只；
(13)重復7、8、9、10步驟(14)進(jìn)入儀器的參數設置，將分子泵的轉速設定為1500Hz；
(15)在儀器檢漏口連接標準漏孔TL4-6(16)重復7、8、9、10步驟。
(16)重復7、8、9、10步驟。
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